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1.高效顆粒空氣（HEPA）過濾器：

HEPA過濾器是一種高效的顆粒物過濾設備，能夠有用捕捉和去除空氣中的微小顆粒，通常具有99.97%以上的過濾效率。在無塵車間中，HEPA過濾器被廣泛應用于空氣處理系統，以過濾和清潔進入車間的空氣。它們能夠去除塵埃、病毒、細菌、花粉和其他微粒，確保車間環境的潔凈度。

2.超低滲透率（ULPA）過濾器：

ULPA過濾器是一種更高效的顆粒物過濾器，其過濾效率通常在99.999%以上。與HEPA過濾器比較，ULPA過濾器能夠更徹底地去除空氣中的微粒，包含更小尺寸的顆粒。在對潔凈度要求極高的無塵車間中，如半導體制造和生物醫藥范疇，ULPA過濾器被廣泛應用。

3.正壓控制系統：

在無塵車間中，正壓控制系統是確保車間內部空氣繼續流向外部的要害。經過引入新鮮空氣并保持正壓，能夠避免室外空氣、塵埃或微生物進入車間。正壓控制系統合作過濾器的運用，能夠大幅度下降污染物的風險，確保車間環境始終保持潔凈。

4.空氣循環與氣流形式規劃：

合理的空氣循環和氣流形式規劃在無塵車間中至關重要。良好的空氣循環能夠將潔凈空氣均勻分布到整個車間，消除死角和積塵區域。根據工藝需求，選用適當的氣流形式，如單向流或混合流，能夠有用地帶走發生的污染物，確保車間內的潔凈度。

5.空氣監測和調理：

為了確保無塵車間中的空氣質量繼續符合要求，空氣監測和調理是必不可少的。經過裝置空氣質量監測設備，能夠實時監測要害參數，如顆粒物濃度、溫度和濕度等。根據監測成果，及時調理空氣凈化系統的運行參數，以保持車間環境的潔凈度。